蒸着プロセスは、1×10-6 torr (1.3×10-4 Pa)未満の真空チャンバー内で原料物質を蒸発させ、蒸発した粒子を基板上に凝縮させることを含む。 蒸着膜の純度は真空度や蒸着源材料の純度に依存します。
蒸着材料の化学組成は、金属蒸着材料、酸化物蒸着材料、フッ化物蒸着材料の3種類に分類できます。
蒸着プロセスは、1×10-6 torr (1.3×10-4 Pa)未満の真空チャンバー内で原料物質を蒸発させ、蒸発した粒子を基板上に凝縮させることを含む。 蒸着膜の純度は真空度や蒸着源材料の純度に依存します。
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